nanolitografia

Autore: Eugene Taylor
Data Della Creazione: 12 Agosto 2021
Data Di Aggiornamento: 1 Luglio 2024
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Definizione - Cosa significa nanolitografia?

La nanolitografia è un ramo della nanotecnologia e il nome del processo per iming, scrittura o incisione di schemi a livello microscopico al fine di creare strutture incredibilmente piccole. Questo processo viene in genere utilizzato per creare dispositivi elettronici più piccoli e più veloci come micro / nanochip e processori. La nanolitografia viene utilizzata principalmente in vari settori della tecnologia, dall'elettronica alla biomedicale.

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Techopedia spiega la nanolitografia

La nanolitografia è un termine generico usato per descrivere vari processi per la creazione di modelli su scala nanometrica su supporti diversi, il più comune dei quali è il silicio materiale semiconduttore. Lo scopo principale della nanolitografia è la riduzione dei dispositivi elettronici, che consente di stipare più parti elettroniche in spazi più piccoli, vale a dire circuiti più piccoli integrati che si traducono in dispositivi più piccoli, che sono più veloci ed economici da produrre poiché sono necessari meno materiali. Ciò aumenta anche le prestazioni e i tempi di risposta perché gli elettroni devono percorrere solo distanze molto brevi.

Alcune tecniche utilizzate nella nanolitografia sono le seguenti:

  • Litografia a raggi X - Implementata attraverso un approccio di prossimità e si basa sui raggi X vicino al campo nella diffrazione di Fresnel. È noto per estendere la sua risoluzione ottica a 15 nm.

  • Doppio motivo - Un metodo utilizzato per aumentare la risoluzione del tono di un processo litografico inserendo motivi aggiuntivi tra spazi di motivi già modificati nello stesso livello.

  • Litografia a scrittura diretta (EBDW) a fascio di elettroni - Il processo più comune utilizzato in litografia, che utilizza un fascio di elettroni per creare modelli.

  • Litografia a ultravioletti estremi (EUV) - Una forma di litografia ottica che utilizza lunghezze d'onda della luce ultracorta di 13,5 nm.